苏州展坤机电科技有限公司

 爱德华真空泵维修保养

    苏州展坤机电科技有限公司作为爱德华真空泵国内一级授权代理商，依托爱德华雄厚的技术力量，我们成立了专业的真空泵维修车间。我司拥有在原厂工作多年的维修工程师和一支技术精堪的维修队伍，专修爱德华、莱宝、爱发科、阿尔卡特等各类进口真空泵。

我们的优势

· 技术保证：拥有5年各类进口真空泵维修经验

· 质量保证：授权代理商，保证使用原装进口配件

· 时间保证：提供本地化维修服务，维修周期短

· 运行保证：提供6个月延保服务

· 价格保证：以优惠价格获得类似原厂的维修服务

爱德华真空泵维修型号：

 RV系列：RV3，RV5，RV8，RV12

 EM系列：E2M0.7，E2M1.5，E2M18，E2M28，E2M30，E2M40，E2M80，E2M175，E2M275，E1M18

 EH系列：EH250，EH500，EH1200，EH2600，EH4200

 QMB系列：QMB-250，QMB500，QMB1200

 DP系列：DP40，DP80，QDP40，QDP80，IQDP40，IQDP80

 GV系列：GV80，GV160，GV250，GV400，GV600

 iH系列：iH80，iH160，iH600，iH1000，iH1800

 GX系列：GX100L，GX300L，GX600L，GX1000N

 涡轮分子泵：EXT75D，EXT240D，EXT300D，EXT400D，EXT556H

 磁悬浮分子泵：STP301，STP603，STP1003，STPH301C，STPA803C

       真空泵常见故障：噪音大、漏油、真空度抽不上去或真空度不稳定、不能运转、电机发热等。如果出现以上情况，建议真空泵立即停机并尽快送厂维修，以免出现不可修复的故障。强烈建议按照说明书定期更换原装泵油并定期进行保养，以延长真空泵的使用寿命。

   苏州展坤机电科技有限公司除提供的技术服务及咨询，并有坚实的后勤工作团队，为客户提供品质及技术的保证，让客户使用上无后顾之忧，并能够为客户提供整套系统的解决方案，大大降低客户的采购成本。

提供EDWARDS GV160 爱德华真空泵维修保养服务，GV系列包括GV-160/250/400/600等多个系列。

        的Drystar GV80一600M系列是爱德华公司多年成功验证的爪式机理而设计的，泵的内部除刮片层外，还有加强抽速的螺旋片，令抽速能够达到560立方米/小时(330cfm)跟油式真空泵比较，爱德华干泵的爪式机理缩短了泵内的气径，所以能处理大量水气和尘埃同时并不影响泵的表现。

提供爱德华GV160真空泵维修
   1.安装时要保证真空泵四周和顶部有足够的维护保养空间。将机组安装在空气流通且干燥的环境，因本机组只有轻微震动，所以机组固定采用地脚螺栓，连接管道使用软连接管，管径须符合说明书要求。

.2.电路的安装须按电气安装规范进行。在连接进、排气管路之前，应正确连接电源线，连接可靠，三相交流电电源电压符合 要求且三相均衡(电压380V,频率为50HZ)，电机和控制柜要求可靠接地;变 频调速器按照不同用户的要求，修改操作参数。完成后必须进行检查，确认无误。

·3.泵前必须安装过滤器，化工泵在过滤器前必须安装冷凝器和缓冲罐。
·4.冷却水压力流量必须符合产品说明书要求，当 环境温度低于0℃时必须有防冻设施，且安装有停泵时吹扫用的氮气或压缩空气气源。
.5泵前必须连接置换或吹扫用的氮气气源(在没有防爆要求时可采用压缩空气)。
半导体爱德华GV160真空泵维修

半导体爱德华GV250真空泵维修

爱德华GV400真空泵维修

     

提供爱德华GV160真空泵维修
1、保证冷却水循环系统的正常。在寒冷地区，冬季如果停止冷却水循环时，请用氮气或压缩空气将泵内冷却水吹出，当气温低于00 C时，泵停用时一定要把泵内的所有液体全部清干净(润滑油除外)，防止冻裂。
2、注意润滑油位，泵后端油窗显示油位应在中线以上，缺少时加入国标32#润滑油。新泵使用300小时需更换齿轮箱润滑油，以后每工作3000小时更换一次齿轮箱润滑油。前端轴承采用铿基润滑脂润滑，每300小时需更换一次，更换方法是将泵前端进气口和轴承盖打开，加入适量铿基润滑脂即可，更换时应注意保证进气口和轴承盖的密封。
   

爱德华GV系列真空维修
Edward GV Series Vacuum Repair

型号：GV80 GV160 GV250 GV400 GV260M GV410M GV600M 
常用GV系列爱德华真空泵参数

GV80干式泵	EH500增压泵		GV80干式泵	EH500增压泵
1003/hr			475m3/hr
2*103mbr			7*10-4mbr
4KW	2.2Kw		5.5kw	2.2kw
3kw			3.7kw
60 litres/hr	N/A		60 litres/hr	N/A
25 litres/h	N/A		25 litres/hr	N/A
＜78dBA	＜72dBA		＜81dBA	＜72dBA
145kg	74kg		145kg	74kg

  Drystar GV400和EH2600/EH4200泵组系列结合了经过实际应用检验的EDWARDS爪式干泵和液压驱动增压泵；相对系统油封真空泵系统，它具有价格低廉、性能优良和结构紧凑等优点，是一套清洁、耐用的抽气系统。
  
    Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。Drystar泵组效率高、成本低，并且能够处理粉尘和水蒸汽，免除了油封真空泵系统因工艺污染而导致性能下降和需要频繁维护的危险。

爱德华iH系列真空泵维修
Edward iH series vacuum pump repair

维修型号：iH80、iH600、iH1000等

      爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商，集工艺实现技术，材料和服务于一体。爱德华真空泵经长时间使用，已被正面其达到运行标准。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量，使其拥有了可靠的高性能，同时又具有占地面积小，拥有成本低等优点。

      针对各种困难工艺，例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等，IH系列提供极高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速从80到1800立方米/小时，其中iH1800干泵是专为高排量应用而设计的。

EDWARDS GV400 爱德华真空泵维修，提供半导体，LED封装测试，光电制造，离子清洗机等配套干式真空泵维修保养服务。爱德华GV系列泵浦维修型号包括：QDP/GV系列 80 GV-160/250/400/600 。

构造	3 爪式
排量（工作容积）	540 m3h-1 / 318 ft3min-1
抽速 *	380 m3h-1 / 225 ft3min-1
极限压力	<0.4 mbar / <0.3 Torr
10mbar/7.5 Torr 时的功耗	7 kW / 9.4 hp
电机额定功率	18 kW / 24.1 hp
20 ºC 时的冷却水流量	4 l min-1 / 1.1 gal min-1
封口吹扫（干燥空气）	<22 l min-1 (0.4 bar)
	<0.6 ft-3min-1 (6 psig)
噪音级别	82 dB(A)
进气口连接	ISO100
出口连接	ISO63
重量	820 kg / 1804 lbs
变速箱油容量	1.5 l/0.4 gal
电源供给	380/400/415V 50 Hz 3 Ø

爱德华GV400真空泵应用

真空感应熔炼 (VIM)   
精密熔模铸造 (PIC) 
真空电弧精炼 (VAR) 
真空镀膜 
电子束焊接 
真空烧结 
钢脱气 
硬化 
等离子和 LP 氮化 
LP 渗碳 
真空铜焊 
粘辊 
玻璃涂层 
滤光片和镜头 
真空喷镀 
硬盘和光盘母版制作 
变压器、电容器和电缆 
皮革 
辛香料和芳香剂 
核工业 
真空腔修整 
太阳能电池生产

Edwards RV12 爱德华真空泵维修

EDWARDS爱德华RV 系列：RV3, RV5, RV8, RV12，

排量	Rv12
50 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	14.2/8.4
60 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	17  /10
速度 (Pneurop 6602)
50 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	12  /7.1
60 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	14.2  /8.4
极限压力(mbar/ Torr)	2 x 10-3 /1.5 x 10-3
极限压力 GB I(mbar/ Torr)	3 x 10-2 /2.3 x 10-2
极限压力 GB II(mbar/ Torr)	6 x 10-2 / 4.6 x 10-2
极限压力（带 Fomblin®）(mbar/ Torr)	2 x 10-2 /1.5 x 10-2
水蒸汽的进气口压力(mbar/ Torr)	32 / 24
水蒸汽抽速 – GB I(gh-1)	60
水蒸汽抽速 – GB II(gh-1)	220
允许的出口压力(bar 表压/ psig)	1 表压/14
允许的进气口和气镇压力(bar 表压/ psig)	0.5 表压/7
电机功率 50/60 Hz(W)	450 / 550
电源连接器（1 相）	IEC EN60320 C13
标称旋转速度 50/60 Hz(rpm)	1500 / 1800
重量（不含油）(kg /  lb)	29 /63.8
/油容量(L)	0.65/1 l
推荐用油	Ultragrade 19
入口法兰	NW25
排气口法兰	NW25
噪音级别(dBA)	50 Hz 时 48
工作温度范围(°C)	12 – 40

爱德华真空泵维修范围：

EDWARDS爱德华EM 系列 ：
E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12, E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275, E-Lab2，
EDWARDS爱德华RV 系列：RV3, RV5, RV8, RV12，
EDWARDS爱德华EH 系列：EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200，
EDWARDS爱德华QMB 系列：QMB-250, QMB500, QMB1200
EDWARDS爱德华 GV80 GV160 GV250 GV400 GV260M GV410M GV600M

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一、爱德华真空泵维修后的安装要求

安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表，以

保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

二、爱德华真空泵启动与停止要求

启动前准备

检查电动机转向是否正确，从电动机顶部向泵看伟顺时针旋转，试运行时间要短，以免使机械密封干磨

损坏。

打开排气阀使润滑油充满整个泵体，待满后关闭排气阀

检查各部位是否正常

用手盘动泵以使润滑油液进入机械密封端面

起动

全开进口阀门

关闭出口管路阀门

起动电动机，观察泵运行是否正确

调节出口阀开度至所需工况，如用户在泵出口装有流量计或压力表，应通过调节出口阀门开度使泵在性

能参数表所列的额定点上运行，并通过调节出口阀门开度，测量泵的电动机电流，使电动机在额定电流

内运行，否则将造成超负荷运行致使电动机烧坏。调整出口阀门开启度与管道工况有关

检查轴封泄漏情况

检查电动机，轴承处唯独应小于等于70度

停止

关闭吐出管路阀门

停止电动机

关闭进口阀门

如长期停机，应将泵内润滑油放尽。

三、爱德华真空泵维修保养要求

运行中的维护

各部件必须在润滑油的润滑下运行。

定期检查电动机电流值，不得超过电动机额定电流

泵长期运行后，由于机械磨损，使机组噪声级振动增大时，应停机检查，必要时可更换易损零件及轴承

，机组大修期一般为一年。

机械密封维护

机械密封润滑应清洁无固体颗粒

严禁机械密封在干磨情况下工作。

起动前应光盘东泵几圈，以免突然起动造成石墨环断裂损坏。

启动前应关盘动泵几圈，以免濡染启动造成石墨环断裂损坏。

四、爱德华真空泵维修故障原因及排除方法。

故障现象	可能产生的原因	排除方法
真空不足	旋片损坏，缸体磨损，转子与缸体切点间隙变异	更换旋片，修复冈日，调整相应间隙
流量不足	管道不通畅，泵浦沉积油垢，杂物，电压降低	清理输送管道，清洁泵浦，调整电压
功率过大	超过额定流量使用，吸程过高，泵轴承磨损	调节流量关小出口阀门，降低吸程，更换轴承
杂音振动	管路支撑不稳，润滑油混有气体，产生汽蚀，轴承损坏，电动机超载发热运行	稳固管路，提高吸入压力排气，降低真空度，更换轴承，调整按电动机发热方法排除
电动机发热	流量多大，超载运行，碰擦，电动机轴承损坏，电压不足	关小出口阀，检查排除，更换轴承，稳压
泵浦漏油	机械密封磨损，泵体有砂孔或破裂，密封面不平整，安装螺栓松动	更换密封套件，修补泵浦，修正密封面端面，紧固螺栓

  

爱德华真空泵维修

Edwards RV8真空泵在科学应用中得到了广泛的应用，RV8高效能，可以在较高机械真空状态下提供高供高吞吐量或低吞吐量。这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用（包括 GCMS 和其他小工作台式应用）的理想产品。我司长期提供Edwards RV8真空泵维修保养服务。

排量	Rv8
50 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	9.7  /5.7
60 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	11.7  / 6.9
速度 (Pneurop 6602)
50 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	8.5  /5
60 Hz(m3h-1/ ft3min-1)	10  /5.9
极限压力(mbar/ Torr)	2 x 10-3 /1.5 x 10-3
极限压力 GB I(mbar/ Torr)	3 x 10-2 /2.3 x 10-2
极限压力 GB II(mbar/ Torr)	6 x 10-2 / 4.6 x 10-2
极限压力（带 Fomblin®）(mbar/ Torr)	2 x 10-2 /1.5 x 10-2
水蒸汽的进气口压力(mbar/ Torr)	38 / 28.5
水蒸汽抽速 – GB I(gh-1)	60
水蒸汽抽速 – GB II(gh-1)	220
允许的出口压力(bar 表压/ psig)	1表压/14
允许的进气口和气镇压力(bar 表压/ psig)	0.5 表压/7
电机功率 50/60 Hz(W)	450 / 550
电源连接器（1 相）	IEC EN60320 C13
标称旋转速度 50/60 Hz(rpm)	1500 / 1800
重量（不含油）(kg /  lb)	28 /61.6
/油容量(L)	0.45/0.75
推荐用油	Ultragrade 19
入口法兰	NW25
排气口法兰	NW25
噪音级别(dBA)	50 Hz 时 48
工作温度范围(°C)	12 – 40

EDWARDS EH500 爱德华真空泵维修

EH系列维修常用型号：

EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200

常见问题：真空不足，噪音，卡死，漏油等故障

其他爱德华系列真空泵维修：

EDWARDS爱德华EM 系列 ：
E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12, E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275, E-Lab2，
EDWARDS爱德华RV 系列：RV3, RV5, RV8, RV12，
EDWARDS爱德华EH 系列：EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200，
EDWARDS爱德华QMB 系列：QMB-250, QMB500, QMB1200
EDWARDS爱德华ih系列：IHBO IH160 IH160HTX IH600 IH1000 ih1800 ih1800HTX
QDP/GV系列 80 GV-160/250/400/600 、EH系列250/500/1200/2600/4200、 IH系列IH600/800/1000/1800、IF1800/3000、 IXH系列IXH100/200H/610/1210/1220H/1820/1820H/1820T/3030/3030T 、 3045H/4545HT/6045H6045HT  PXH4500/6000 IXL500Q/500R 

我公司专业维修保养edward爱德华EH2600真空泵，专业提供EH2600，EH500等EH系列edward真空泵维修保养。 

　　真空泵日常维护保养： 

　　1、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。 

　　2、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。 

　　3、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。 

　　4、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。 

　　5、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。